光鍍膜機工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度，材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大，蒸發出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
光鍍膜機維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。
一、電子槍安裝與維護
電子槍蒸發源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動電源、蒸發源等組成一個電子槍控制電柜。
電子槍控制電柜內含有高壓，在工作前必須保證柜門各個聯鎖裝置正常工作，非專業人員不得打開電柜門，電子槍在工作時不得打開電柜門，整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。
電子槍蒸發源安裝在真空室底板上，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發源必須使用不銹鋼螺絲來固定，周邊200mm以內不得有導磁的物體，否則會影響到電子槍的光斑成表，造成電子性能的不良。電子槍檔板應盡量裝在蒸發源坩堝的中心上30mm處，以不影響電子束的發射為好。
電子槍蒸發源是一個精密機械加工體，在工作時必須保證有良好的冷卻水，如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。
（一）電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行，其發生的故障有90%同電子槍槍頭有關。
電子槍槍頭有使用一段時間后，會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率，需要拆卸清潔。
（二）坩堝的維護
拆坩堝之前，請先關掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹干凈。
蒸發源裝卸順序：
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯軸器。4.擰落蒸發源四個固定螺絲。5.把蒸發源搬運到一個穩定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲，取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發源反轉過來倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉動四個螺絲10.抬起蒸發源，取下坩堝 11.把坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個螺絲，清洗干凈里面的污垢，檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉動機構與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉動軸，檢查轉動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。
（三）導磁板及掃描圈的維護
導磁板及永磁鐵是不需要經常拆卸維護，如需拆卸，請注意永磁鐵的極向，及導磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實，請不要使用硬尖的東西撬動，否則有可能會造成損壞。
二、光路的檢修與維護
光路調整的先決條件是：確保直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點，必須單獨歸至主機接點牢固接地。
三、光學鍍膜機的清洗
光鍍膜機使用一個星期后（三班），因鍍料除鍍在工件表面 外，亦因無定向性而工作室 內的襯板上鍍料，并越鍍越厚，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設備抽氣越來越慢。此時，應對工作室及襯板進行清洗，如不必要拆落來的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在水溶液里，和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。
注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。后安裝襯板時，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。
因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。
四、光學鍍膜機的保養
（一）定期更換擴散泵油
擴散泵油使用一段時間，約二個月（兩班），因在長期高溫環境，雖然較高真空時才啟動擴散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應，擴散泵油在高溫下也可能產生裂解，使其品質下降，而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時，應予更換。
（二）真空泵
機械泵油、維持泵油在使用二個月，油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設備，在使用頭半個月即應更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會加劇磨損。
（三）清潔衛生
定期將設備及其周圍環境衛生搞好，常保持設備內外清潔，將設備周圍環境整理有條，有一個好的工作環境，以保安全。
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